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日本EHC薄膜基板實驗?zāi)Σ裂b置MRG-100產(chǎn)品運用
薄膜基板開發(fā)和試制用高精度配向摩擦設(shè)備
日本ehc小型摩擦裝置MRM-100
•目的:用于LCD對準(zhǔn)調(diào)查的實驗室用拉比機
•長凳型。
•基板加載:手動
•加載/卸載位置:拉桿前后
•最大基板尺寸:100mm×100mm
•基板厚度:最小0.1mm,最大2mm
•基板材料:玻璃、PC、COP等
黃色 松本
基板桌子
•速度:0~50mm/sec、1mm/sec、精度±可通過0.1mm/sec的步驟進(jìn)行調(diào)整
•移動行程:300mm
•移動方向:垂直于滾筒、上下方向、上下方向(自動)
•工作臺旋轉(zhuǎn):固定
•表格表面平坦度:±10μm
•基板固定:真空發(fā)生器吸附固定
•基板定位:手動
拉桿
•寬度:240mm
•直徑:48mm±0.01mm(以滾芯外徑定義)
•RPM:0?1500 rpm。 1rpm、精度±可通過0.1rpm的步驟進(jìn)行調(diào)整(數(shù)字顯示)
•平行度對基板表:相對于全部寬度±10μm
•平行度對臺行程:以*的拉桿行程±10μm
•旋轉(zhuǎn)方向:順時針和逆時針
•上卷/下行程:10mm
•滾筒壓(行程)精度:±0.01 mm
•角度調(diào)整:±45°、1°可設(shè)定為單位
•布是天鵝絨黑色,吉川化工 YA-20-R 毛長2mm 密度32000根/cm^2
實用程序
•電源:AC100-240V 50/60Hz,最大500W
•壓空:0.5MPa
•尺寸 W600 x D760 x H807.2mm 重量:約80kg