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硼硅酸鹽玻璃 (t = 20 µm) 在出口孔處鉆了 1 µm

發(fā)布時間:2022-11-25 點擊量:641

硼硅酸鹽玻璃 (t = 20 µm) 在出口孔處鉆了 1 µm

我們將交付使用 266nm 深紫外皮秒激光器的第一階段加工,這是 Spectronics 的最大特點。隨著半導體和電子設(shè)備的進步,薄玻璃板的鉆孔越來越受到關(guān)注。我們也進行了加工驗證,以免錯過這一趨勢。

加工驗證詳情
◇目標材料
硼硅酸鹽玻璃厚度:20μm顏色:透明
◇使用激光振蕩器
LDH-X0300(266nm/50ps/2W@100kHz)
◇加工光學
Galvano掃描光學(f=160mm,佳能Galvano)
理論光斑尺寸Φ12。 45μm
◇照射方式
沖擊(固定光束照射)
◇結(jié)果
照射側(cè)孔徑 10-11μm(XY 方向略呈橢圓形) 出射
側(cè)孔徑 1μm
處理時間 0.067sec/孔
◇處理后的樣圖



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