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可測量殘留氣體成分的真空計SC-10的特點

發(fā)布時間:2024-06-01 點擊量:397

可測量殘留氣體成分的真空計SC-10的特點

?通過監(jiān)測殘留氣體成分,可以監(jiān)控真空設(shè)備的健康狀況并立即發(fā)現(xiàn)異常情況。
?用一臺裝置即可測量真空度(總壓)和氣體成分(分壓)。

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SC-10智能真空計是我公司研發(fā)的一款全新的自動真空計,既可以測量殘余氣體成分,也可以測量全壓真空。
總壓真空范圍從大氣壓到10-7Pa的超高真空,當(dāng)總壓達到約50Pa時,氣體成分的分壓自動開始,從而可以測量約10-5Pa到10-6Pa。 。
可以在粗略壓力范圍內(nèi)測量氣體成分并檢查是否有泄漏,而這對于傳統(tǒng)氣體分析儀來說是不可能的。


智能真空計可以測量殘留氣體的成分,因此即使在抽氣過程中,您也可以快速檢查真空設(shè)備的健康狀況,例如泄漏和水蒸氣脫氣。下面的兩張圖顯示了同一裝置的不同排氣數(shù)據(jù),在圖1中,顯示了正常排氣,水蒸氣是主要成分并決定了總壓力真空,而在圖2中,氮氣由于泄漏而停止。向下排氣開始后約5分鐘,如果繼續(xù)排氣約10分鐘,則氮氣的量變得多于水蒸氣,并且總壓和真空度的降低停止。通過使用智能真空計,您可以快速發(fā)現(xiàn)僅通過監(jiān)測總壓力和真空度無法檢測到的排氣異常及其原因。

圖1 縮小.png
圖1


圖2 縮小.png
圖2





智能真空計不僅可以讓您知道是否存在泄漏,還可以噴射氦氣或氬氣來定位泄漏位置。圖3顯示了在泄漏位置噴射氬氣時智能真空計的數(shù)據(jù),氬氣增加而氮氣減少表明存在泄漏。泄漏停止后,如圖4所示,氮氣和氧氣減少,水蒸氣成為主要成分,成為典型真空裝置的殘余氣體成分。

圖3 縮小.png
圖3


圖4 縮小.png
圖4



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